LCP-25 eksperimental ellipsometri
Kirish
Qo'lda elliptik polarimetrda plyonkaning qalinligi va sinish ko'rsatkichini o'lchash uchun yo'q qilish usuli qo'llaniladi va sinov jarayonining burilish va burilish burchagi qo'lda tartibga solinadi. Ellippsometriya dielektrik ingichka plyonkani qattiq substratda o'lchashda keng qo'llaniladi. Filmning qalinligini o'lchash usulida uni eng nozik va eng yuqori aniqlikda o'lchash mumkin.
Texnik xususiyatlari
| Tavsif | Texnik xususiyatlari |
| Qalinligi o'lchov oralig'i | 1 nm ~ 300 nm |
| Hodisa burchagi oralig'i | 30º ~ 90º, Xato ≤ 0,1º |
| Polarizator va analizatorning kesishish burchagi | 0º ~ 180º |
| Diskning burchak o'lchovi | Shkala bo'yicha 2º |
| Min. Vernierni o'qish | 0,05º |
| Optik markaz balandligi | 152 mm |
| Ish bosqichi diametri | Φ 50 mm |
| Umumiy o'lchamlar | 730x230x290 mm |
| Og'irligi | Taxminan 20 kg |
Qismlar ro'yxati
| Tavsif | Miqdor |
| Ellipsometr birligi | 1 |
| He-Ne lazer | 1 |
| Fotoelektrik kuchaytirgich | 1 |
| Surat xujayrasi | 1 |
| Kremniy substratidagi silika plyonkasi | 1 |
| Dasturiy ta'minot kompakt-diskini tahlil qilish | 1 |
| Foydalanish bo'yicha qo'llanma | 1 |
Xabaringizni shu erga yozing va bizga yuboring
