LCP-25 eksperimental ellipsometr

Qisqacha tavsif:

Qo'lda elliptik polarimetr plyonkaning qalinligi va sinishi indeksini o'lchash uchun so'nish usulidan foydalanadi va sinov jarayonining og'ish va og'ish burchagini qo'lda tartibga soladi. Ellipsometriya qattiq substratda dielektrik yupqa plyonkani o'lchashda keng qo'llaniladi. Filmning qalinligini o'lchash usulida uni eng nozik va eng yuqori aniqlik bilan o'lchash mumkin.

Bizga elektron pochta xabarini yuboring

Mahsulot detali

Mahsulot teglari

Texnik xususiyatlari

Tavsif	Texnik xususiyatlari
Qalinligini o'lchash diapazoni	1 nm ~ 300 nm
Hodisa burchagi diapazoni	30º ~ 90º , Xato ≤ 0,1º
Polarizator va analizatorning kesishish burchagi	0º ~ 180º
Disk burchakli shkalasi	shkala uchun 2º
Min. Vernierni o'qish	0,05º
Optik markaz balandligi	152 mm
Ish bosqichining diametri	PH 50 mm
Umumiy o'lchamlar	730x230x290 mm
Og'irligi	Taxminan 20 kg

Qismlar ro'yxati

Tavsif	Miqdor
Ellipsometr birligi	1
He-Ne lazer	1
Fotoelektrik kuchaytirgich	1
Fotosurat uyasi	1
Silikon substratdagi kremniy plyonkasi	1
Tahlil dasturi CD	1
Qo'llanma	1